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Titel (englisch): Cleanroom technology - Cleanliness of process media

Dokumentart: Technische Regel

Ausgabedatum: 2006-11

Kurzreferat: Die Aufreinigung von Prozessmedien ist eine Komponente des reinen Arbeitens. Die Reinheit der Prozessmedien wird durch eine Vielzahl möglicher Kontaminationsquellen beeinflusst. In der vorliegenden Richtlinie wird vor allem der Einfluss partikulärer Kontaminationen bewertet. Die Partikelreinheit der in Reinräumen gefertigten Produkte ist nicht Gegenstand dieser Richtlinie.

Sprachen: Deutsch, Englisch