Liebe Kundinnen, liebe Kunden,
es ist soweit:
Aus dem Beuth Verlag ist DIN Media geworden.
Mehr über unsere Umbenennung und die (Hinter)Gründe erfahren Sie hier.
Um unsere neue Website problemlos nutzen zu können, würden wir Sie bitten, Ihren Browser-Cache zu leeren.
Herzliche Grüße
DIN Media
Montag bis Freitag von 08:00 bis 15:00 Uhr
Norm-Entwurf [ZURÜCKGEZOGEN]
Produktinformationen auf dieser Seite:
Schnelle Zustellung per Download oder Versand
Jederzeit verschlüsselte Datenübertragung
Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Gesamtschichtdicke des Schichtsystems und der Schichtdicken von Einzelschichten in Mehrfachschicht- beziehungsweise periodischen Schichtsystemen sowie deren optischen beziehungsweise dielektrischen Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Mehrfachschichten und periodische Schichten fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Dokument wurde ersetzt durch DIN 50989-5:2023-12 .