DIN EN ISO 14644-10:2011-06 - Entwurf

Dieses Dokument (prEN ISO 14644-10:2011) wurde vom Technischen Komitee ISO/TC 209 "Cleanrooms and associated controlled environments" in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee CEN/TC 243 "Reinraumtechnologie" erarbeitet, dessen Sekretariat vom BSI gehalten wird. Die ISO 14644 besteht aus den folgenden Teilen, unter dem allgemeinen Titel "Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche": Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration Teil 2: Festlegungen zur Prüfung und Überwachung zum Nachweis der fortlaufenden Übereinstimmung mit ISO 14644-1 Teil 3: Prüfverfahren Teil 4: Planung, Ausführung und Erst-Inbetriebnahme Teil 5: Betrieb Teil 6: Terminologie Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments) Teil 8: Klassifikation luftgetragener molekularer Kontamination Teil 9: Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit Teil 10: Klassifizierung der chemischen Oberflächenreinheit Dieser Norm-Entwurf legt das Klassifizierungssystem für die Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieser Norm-Entwurf gilt für alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen, wie zum Beispiel Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsbereiche, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte. Für die Anwendung dieses Norm-Entwurfs werden nur die chemischen Eigenschaften eines Partikels in Betracht gezogen. Die physikalischen Eigenschaften des Partikels werden nicht berücksichtigt und diese Norm behandelt nicht die Wechselwirkung zwischen der Kontamination und der Oberfläche. Dieser Norm-Entwurf enthält nicht den Entstehungsprozess der Kontamination und zeitabhängige Einflüsse (Ablagerung, Sedimentation, Alterung und so weiter) oder prozessabhängige Tätigkeiten wie zum Beispiel Transport, Handhabung und so weiter. Auch enthält sie keine Leitlinie zu statistischen Qualitätskontrollverfahren zur Sicherstellung der Übereinstimmung.