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Norm-Entwurf [ZURÜCKGEZOGEN] 2016-03

DIN EN ISO 14644-13:2016-03 - Entwurf

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienklassifikationen (ISO/DIS 14644-13:2016); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 14644-13:2016

Englischer Titel
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications (ISO/DIS 14644-13:2016); German and English version prEN ISO 14644-13:2016
Erscheinungsdatum
2016-02-26
Ausgabedatum
2016-03
Originalsprachen
Deutsch, Englisch

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Einführungsbeitrag

Dieser Norm-Entwurf gibt eine Anleitung zur Auswahl von Reinigungsverfahren, um festgelegte Reinheitsgrade zu erreichen. Beim Auswahlverfahren sind die Aspekte in Bezug auf Oberflächenbeschreibung, Reinheitsspezifikationen, Kontaminationsarten, Reinigungstechniken, Werkstoffkompatibilität sowie Methodik zur Bewertung zu berücksichtigen. Die meisten Verfahren sind zur gleichzeitigen Entfernung von mehr als einer Kontaminationskategorie geeignet, deshalb ist eine allgemeine Norm für die Auswahl eines Reinigungsverfahrens sowohl für eine Kontamination durch Partikel als auch durch Chemikalien erforderlich. Der Norm-Entwurf behandelt die Reinigung von Reinraumoberflächen, Oberflächen der Ausrüstung in einem Reinraum und Oberflächen von Materialien in einem Reinraum bis zu einem festgelegten Grad. Er gibt Anleitungen zur Bewertung von Reinigungsverfahren zum Erreichen der geforderten Klassen der partikulären Oberflächenreinheit und der chemischen Oberflächenreinheit und in Bezug darauf, welche Techniken zum Erreichen dieser festgelegten Grade berücksichtigt werden sollten.

Inhaltsverzeichnis
Änderungsvermerk

Dokument wurde ersetzt durch: DIN EN ISO 14644-13:2017-11 .

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