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Norm-Entwurf 2013-09

DIN IEC 62659:2013-09 - Entwurf

Nanofertigung - Großtechnische Produktion von Nanoelektronik (IEC 113/171/CD:2012)

Englischer Titel
Nanomanufacturing - Large scale manufacturing for nanoelectronics (IEC 113/171/CD:2012)
Erscheinungsdatum
2013-08-30
Ausgabedatum
2013-09
Originalsprachen
Deutsch, Englisch

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Erscheinungsdatum
2013-08-30
Ausgabedatum
2013-09
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2058430

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Einführungsbeitrag

Dieser Norm-Entwurf schafft einen Rahmen für die Einführung der Massenfertigung von Nanoelektronik in Halbleiterfabriken durch die Einbindung von Nanomaterialien (zum Beispiel Kohlenstoff-Nanoröhren, Graphen, Quantenpunkte und so weiter). Seit Halbleiterfabriken neue Methoden einsetzen müssen, um weiterhin hohe Gewinne zu erwirtschaften, sind sehr strenge Anforderungen an die Produktionsprozesse einzuhalten. Nanomaterialien stellen in Halbleiterfabriken einen möglichen Kontaminationsstoff dar und müssen daher strukturiert und methodisch eingeführt werden. Dieser Norm-Entwurf schlägt generische Maßnahmen vor, die die Einführung von Nanomaterialien in Halbleiterfabriken vereinfachen. Der Ablauf ist im Folgenden für die Bereiche Rohstoffbeschaffung, Materialverarbeitung, Design, IC-Fertigung, Prüfung und Endverwendung beschrieben. Diese Arbeitsabläufe entsprechen den Hauptstufen der Lieferkette einer Halbleiterfabrik. Zuständig ist das DKE/K 141 "Nanotechnologie" der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE.

DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2058430
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