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Norm 1987-08

DIN 50450-1:1987-08

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Wasserverunreinigung in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mittels einer Diphosphorpentoxidzelle

Englischer Titel
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of water impurity in hydrogen, oxygen, nitrogen, argon and helium by using a diphosphorus pentoxide cell
Ausgabedatum
1987-08
Barrierefreiheit
Originalsprachen
Deutsch

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Ausgabedatum
1987-08
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Originalsprachen
Deutsch
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2081478

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https://dx.doi.org/10.31030/2081478
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