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Norm [AKTUELL]

DIN 50450-9:2021-07

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C₁-C₃-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie

Englischer Titel
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C₁-C₃-hydrocarbons in gaseous hydrogen chloride by gaschromatography
Ausgabedatum
2021-07
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
8

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Ausgabedatum
2021-07
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
8
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3261270

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Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung des Stoffmengenanteils an Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C1-C3-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff aus der Gasphase fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-05-73 AA "Gasanalyse und Gasbeschaffenheit" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

Inhaltsverzeichnis
ICS
29.045, 71.100.20
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3261270
Ersatzvermerk

Dieses Dokument ersetzt DIN 50450-9:2003-04 .

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN 50450-9:2003-04 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Anwendungsbereich mit Prüfung auf Einhaltung einer Produktspezifikation erweitert; b) früherer Abschnitt 2 "Einheiten" entfallen; c) Abschnitt 3 "Begriffe" aufgenommen; d) zweiten Absatz in Abschnitt 4 (früherer Abschnitt 3) zum alternativen Verfahren aufgenommen; e) früherer Abschnitt 9 "Präzision des Verfahrens" entfallen; f) Anhang A aufgenommen; g) Dokument redaktionell überarbeitet.

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