Navigation

 

Suche

Hauptnavigation

Warenkorb

Warenkorb

   
Norm

DIN 50451-7:2018-04 [NEU]

Titel (Deutsch): Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 7: Bestimmung von 31 Elementen in hochreiner Salzsäure mittels ICP-MS

  Download Versand Abo *
Sprache: Deutsch
*

Erfahren Sie mehr zu Abonnements-Lösungen für Normen

Titel (Englisch): Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 7: Determination of 31 elements in high-purity hydrochloric acid by ICP-MS

Dokumentart: Norm

Ausgabedatum 2018-04

Diese Norm ist aktuell:

Heute 2018-04
Aktuelle Norm
  • DIN 50451-7 :2018-04
Entwurf
zurückgezogen

Einführungsbeitrag:

Dieses Dokument legt Verfahren zur Prüfung von Salzsäure auf 31 Elemente im Spurenbereich fest, wobei als Bestimmungsverfahren die Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS) eingesetzt wird.
Dieses Dokument (DIN 50451-7) wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA "Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie" im DIN-Normenausschuss "Materialprüfung" (NMP) erarbeitet.

Originalsprachen: Deutsch