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Norm [AKTUELL]

DIN 50451-7:2018-04

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 7: Bestimmung von 31 Elementen in hochreiner Salzsäure mittels ICP-MS

Englischer Titel
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 7: Determination of 31 elements in high-purity hydrochloric acid by ICP-MS
Ausgabedatum
2018-04
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
14

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Ausgabedatum
2018-04
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
14
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2809742

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Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt Verfahren zur Prüfung von Salzsäure auf 31 Elemente im Spurenbereich fest, wobei als Bestimmungsverfahren die Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS) eingesetzt wird.
Dieses Dokument (DIN 50451-7) wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA "Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie" im DIN-Normenausschuss "Materialprüfung" (NMP) erarbeitet.

Inhaltsverzeichnis
ICS
29.045
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/2809742

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