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Norm 2009-10

DIN 50452-2:2009-10

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Teilchenanalytik in Flüssigkeiten - Teil 2: Teilchenbestimmung mit optischen Durchflusspartikelzählern

Englischer Titel
Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 2: Determination of particles by optical particle counters
Ausgabedatum
2009-10
Barrierefreiheit
Originalsprachen
Deutsch

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Ausgabedatum
2009-10
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Originalsprachen
Deutsch
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/1534910

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Einführungsbeitrag

In dieser Norm ist ein Verfahren zur Bestimmung der Anzahlkonzentration von Partikeln in Flüssigkeiten mittels automatischer Durchfluss-Partikelmessgeräte festgelegt. Das festgelegte Verfahren arbeitet nach der Laser-Streulicht-Methode und erlaubt, sowohl Partikelgrößen-Messungen durchzuführen als auch die gemessenen Partikel in bestimmten Partikelgrößen-Bereichen zu zählen. Die Norm gilt für in der Halbleitertechnologie übliche Flüssigchemikalien mit Partikelgrößen von 0,1 µm und größer.
DIN 50452-2 wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA "Prüfung von Prozesschemikalien für die Halbleitertechnologie" im NMP erarbeitet.

Inhaltsverzeichnis
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/1534910
Änderungsvermerk

Diese Norm ersetzt DIN 50452-2:1991-03 .

Folgende Änderungen wurden vorgenommen:

Gegenüber DIN 50452-2:1991-03 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Anwendungsbereich auf Partikelgrößen ab 0,1 µm gegenüber 0,3 µm geändert; b) normative Verweisungen aktualisiert; c) Beruhigungszeit von mindestens 30 min bei Vorbehandlung der Proben gestrichen und ersetzt durch Festlegung eines Vorversuches; d) Richtwert für Teilchenbestimmung der Spülflüssigkeit gestrichen und ersetzt durch Festlegung einer maximalen Partikelanzahl Konzentration; e) Festlegung zur Partikelgrößen-Kalibrierung aufgenommen; f) Inhalt redaktionell überarbeitet.

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