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Norm [AKTUELL]
DIN EN 62047-3:2007-02
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung (IEC 62047-3:2006); Deutsche Fassung EN 62047-3:2006
- Englischer Titel
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing (IEC 62047-3:2006); German version EN 62047-3:2006
- Ausgabedatum
- 2007-02
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 9
- Ausgabedatum
- 2007-02
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 9
- DOI
- https://dx.doi.org/10.31030/9782033
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