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Norm 2007-02

DIN EN 62047-3:2007-02

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung (IEC 62047-3:2006); Deutsche Fassung EN 62047-3:2006

Englischer Titel
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing (IEC 62047-3:2006); German version EN 62047-3:2006
Ausgabedatum
2007-02
Originalsprachen
Deutsch

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Ausgabedatum
2007-02
Originalsprachen
Deutsch
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/9782033

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https://dx.doi.org/10.31030/9782033

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