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Norm [NEU]

DIN EN ISO 14644-10:2022-10

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 10: Bewertung der chemischen Oberflächenreinheit (ISO 14644-10:2022); Deutsche Fassung EN ISO 14644-10:2022

Englischer Titel
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO 14644-10:2022); German version EN ISO 14644-10:2022
Ausgabedatum
2022-10
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
43

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Ausgabedatum
2022-10
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
43
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3364118

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Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt geeignete Prüfverfahren zur Bestimmung der Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieses Dokument ist auf alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen anwendbar, wie zum Beispiel Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsflächen, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte. Für die Anwendung dieses Dokuments werden nur die chemischen Eigenschaften eines Partikels in Betracht gezogen. Die physikalischen Eigenschaften des Partikels werden nicht berücksichtigt, und dieses Dokument behandelt nicht die Wechselwirkung zwischen der Kontamination und der Oberfläche. Dieses Dokument behandelt weder den Entstehungsprozess der Kontamination noch zeitabhängige Einflüsse (zum Beispiel Ablagerung, Sedimentation, Alterung) oder prozessabhängige Tätigkeiten wie zum Beispiel Transport und Handhabung. Auch enthält es keine Leitlinien zu statistischen Qualitätskontrollverfahren zur Sicherstellung der Übereinstimmung.

Inhaltsverzeichnis
ICS
13.040.35
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3364118
Ersatzvermerk

Dieses Dokument ersetzt DIN EN ISO 14644-10:2013-06 .

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN EN ISO 14644-10:2013-06 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) der Begriff "Klasse" ("Klassifizierung", "klassifiziert") wurde in "Stufe" (bzw. "Bewertung") geändert, wo angebracht; b) ISO 14644-1 wurde von Abschnitt 2 ins Literaturverzeichnis verschoben und ISO 14644-6 wurde entfernt (Dokument zurückgezogen); c) geringfügige redaktionelle Änderungen.

Dokumentenhistorie
AKTUELL
2022-10 - 2022-10

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2022-03 - 2022-10

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