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Norm 2015-07

SN EN 62047-17:2015-07

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten

Englischer Titel
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
Ausgabedatum
2015-07
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Originalsprachen
Deutsch

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