Wir sind telefonisch für Sie erreichbar!

Montag bis Donnerstag von 08:00 bis 16:00 Uhr

Freitag von 08:00 bis 15:00 Uhr

Beuth Kundenservice
Telefon +49 30 2601-1331
Fax +49 30 2601-1260

Technische Regel [ZURÜCKGEZOGEN]

VDI 2083 Blatt 10:1998-02

Reinraumtechnik - Reinstmedien-Versorgungssysteme

Englischer Titel
Cleanroom technology - High-Purity/Ultra-High-Purity (HP-/UHP-)media supply systems
Ausgabedatum
1998-02
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
26

Bitte Treffen Sie Ihre Auswahl

ab 89,80 EUR inkl. MwSt.

ab 83,93 EUR exkl. MwSt.

Kauf- und Sprachoptionen

PDF-Download 1
  • 89,80 EUR

Versand (3-5 Werktage) 1
  • 99,80 EUR

1

 Achtung: Dokument zurückgezogen!

Ausgabedatum
1998-02
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
26

Schnelle Zustellung per Download oder Versand

Jederzeit verschlüsselte Datenübertragung

Kurzreferat
Reinstmedien (Chemikalien und Gase) werden in zunehmendem Maße für viele Produktionszwecke eingesetzt. Sie kommen in Reinsttechnologien wie z.B. der Halbleiterfertigung, Solartechnik, Faseroptik, Mikromechanik und vergleichbaren Branchen zur Versorgung vor. Ziel ist es, die Reinheit zwischen Medienanlieferung (Point of Supply/P.O.S.) und dem Eingang beim Verbraucher (Point of Entry/P.O.E.) nicht, bwz. nur in einem zulässigen Bereich zu verschlechtern. Zweck der Richtlinie ist die Zusammenfassung des Wissens bezüglich Planung, Bau, Betrieb, Überwachung und Dokumentation von Reinstmedien-Versorgungssystemen. Die Reinheit bezieht sich auf die Verunreinigung mit Partikeln, Kationen, Anionen, TOC und anderen spezifischen Parametern (Fremdgase, Feuchte, usw.). Es werden keine Angaben über Reinheitsanforderungen angegeben, diese sind bezüglich den unterschiedlichen Anwendungen mit dem jeweiligen Betreiber zu definieren.
Inhaltsverzeichnis
ICS
13.040.35
Ersatzvermerk

Dokument wurde ersetzt durch VDI 2083 Blatt 7:2015-10 .

Auch enthalten in
Lade Empfehlungen...
Lade Empfehlungen...