VDI/VDE 2655 Blatt 1.1:2024-01

Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung

Englischer Titel: Optical measurement and microtopographies - Calibration of interference microscopes and depth measurement standards for roughness measurement
Ausgabedatum: 2024-01
Originalsprachen: Deutsch, Englisch
Seiten: 41

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Kurzreferat

Die Richtlinie gilt für Interferenzmikroskope zur Messung der Topografie technischer Oberflächen. Die beschriebenen Prozeduren für die Kalibrierung sind vergleichbar zu den Methoden, die sich bereits bei den Richtlinien für die Rückführung von Tastschnittgeräten bewährt haben. Entsprechend sind, soweit es möglich ist, auch die dort erprobten Normale übernommen. Diese Richtlinie beschränkt sich auf die Grundkalibrierung der Interferenzmikroskope. Diese schließt die Rückführung auf die Längeneinheit über die Messung an rückgeführten Tiefeneinstellnormalen ein. Aus diesen Messprozessen ergibt sich die Herleitung für die Messunsicherheitsberechnung der Gerätekalibierung und die der Messung an Tiefeneinstellnormalen.

Inhaltsverzeichnis

ICS

17.180.01, 37.020

Ersatzvermerk

Dieses Dokument ersetzt VDI/VDE 2655 Blatt 1.1:2008-03 .

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