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VDI/VDE 2655 Blatt 1.1:2024-01

Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung

Englischer Titel
Optical measurement and microtopographies - Calibration of interference microscopes and depth measurement standards for roughness measurement
Ausgabedatum
2024-01
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
41

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Kurzreferat
Die Richtlinie gilt für Interferenzmikroskope zur Messung der Topografie technischer Oberflächen. Die beschriebenen Prozeduren für die Kalibrierung sind vergleichbar zu den Methoden, die sich bereits bei den Richtlinien für die Rückführung von Tastschnittgeräten bewährt haben. Entsprechend sind, soweit es möglich ist, auch die dort erprobten Normale übernommen. Diese Richtlinie beschränkt sich auf die Grundkalibrierung der Interferenzmikroskope. Diese schließt die Rückführung auf die Längeneinheit über die Messung an rückgeführten Tiefeneinstellnormalen ein. Aus diesen Messprozessen ergibt sich die Herleitung für die Messunsicherheitsberechnung der Gerätekalibierung und die der Messung an Tiefeneinstellnormalen.
Inhaltsverzeichnis
ICS
17.180.01, 37.020
Ersatzvermerk

Dieses Dokument ersetzt VDI/VDE 2655 Blatt 1.1:2008-03 .

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