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Norm [ZURÜCKGEZOGEN]
DIN 50438-1:1994-09
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung des Verunreinigungsgehaltes in Silicium mittels Infrarot-Absorption - Teil 1: Sauerstoff
- Englischer Titel
- Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurity content in silicon by infrared absorption - Part 1: Oxygen
- Ausgabedatum
- 1994-09
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 10
- Ausgabedatum
- 1994-09
- Originalsprachen
- Deutsch
- Seiten
- 10
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Dieses Dokument ersetzt DIN 50438-1:1978-01 .
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