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Norm 2003-04

DIN 50451-1:2003-04

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 1: Silber (Ag), Gold (Au), Calcium (Ca), Kupfer (Cu), Eisen (Fe), Kalium (K) und Natrium (Na) in Salpetersäure mittels AAS

Englischer Titel
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 1: Silver (Ag), gold (Au), calcium (Ca), copper (Cu), iron (Fe), potassium (K) and sodium (Na) in nitric acid by AAS
Ausgabedatum
2003-04
Originalsprachen
Deutsch

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Änderungsvermerk

Diese Norm ersetzt DIN 50451-1:1987-10 .

Folgende Änderungen wurden vorgenommen:

a) Anwendungsbereich erweitert auf die Elemente Calcium (Ca), Eisen (Fe), Kalium (K) und Natrium (Na); b) Anwendungsbereich erweitert auf Elementspuren-Massenanteile von 1 ng/g bis 50 ng/g auf 0,1 ng/g bis 50 ng/g; c) Anwendungsbereich erweitert auf andere in der Halbleitertechnologie eingesetzte verdampfbare Flüssigkeiten; d) normative Verweisungen aktualisiert; e) im Abschnitt "Probenahme" niedrigster Metallspuren-Massenanteil des jeweiligen Elementes nach Anreicherung festgelegt; f) maximale Messunsicherheit der Wägung der Teilprobe von 1 % auf 5 % erhöht; g) im Abschnitt "Vorbehandlung der Proben" nach Eindampfen der Teilprobe Erwärmung des Eindampfgefäßes auf 80 °C und anstelle der Zugabe von 50 ml bis 1 000 ml Königswasser 100 µl bis 500 µl Salpetersäure und 50 µl bis 250 µl Salzsäure festgelegt; h) Mindestanzahl der durchzuführenden Messungen je Messlösung von fünf auf drei reduziert; i) Festlegungen zur Kalibrierung präzisiert; j) Abschnitt "Berechnung und Angabe der Ergebnisse" ergänzt; k) im Abschnitt "Präzision des Verfahrens" ermittelte Variationskoeffizienten für Ca, Cu und Fe bei Massenanteilen von 0,5 ng/g bis 1 ng/g ergänzt; l) Festlegungen im Abschnitt "Prüfbericht" präzisiert und ergänzt; m) Literaturhinweise aufgenommen; n) Text redaktionell überarbeitet.

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