Wir sind telefonisch für Sie erreichbar!

Montag bis Donnerstag von 08:00 bis 16:00 Uhr

Freitag von 08:00 bis 15:00 Uhr

Beuth Kundenservice
Telefon +49 30 2601-1331
Fax +49 30 2601-1260

Norm [AKTUELL]

DIN 50451-5:2022-08

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 5: Leitlinie zur Auswahl von Werkstoffen und Prüfung ihrer Eignung für Geräte zur Probenahme und Probenvorbereitung für die Elementspuren-Bestimmung im Bereich von Mikrogramm je Kilogramm und Nanogramm je Kilogramm

Englischer Titel
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 5: Guideline for the selection of materials and testing of their suitability for apparatus for sampling and sample preparation for the determination of trace elements in the range of micrograms per kilogram and nanograms per kilogram
Ausgabedatum
2022-08
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
11

Bitte Treffen Sie Ihre Auswahl

ab 52,30 EUR inkl. MwSt.

ab 48,88 EUR exkl. MwSt.

Kauf- und Sprachoptionen

PDF-Download
  • 52,30 EUR

  • 62,80 EUR

Versand (3-5 Werktage)
  • 63,20 EUR

Normen-Ticker 1
1

Erfahren Sie mehr über den Normen-Ticker

Ausgabedatum
2022-08
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
11
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3369971

Schnelle Zustellung per Download oder Versand

Jederzeit verschlüsselte Datenübertragung

Einführungsbeitrag

Dieses Dokument gibt eine Leitlinie zur Auswahl von Werkstoffen und zur Prüfung ihrer Eignung für Geräte zur Probennahme und Probenvorbereitung, die für die Bestimmung von Verunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleitertechnologie eingesetzt werden. Es gilt für Bestimmungen von Elementspuren in den Bereichen von Mikrogramm je Kilogramm und Nanogramm je Kilogramm. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA „Prüfung von Prozesschemikalien für die Halbleitertechnologie“ im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

Inhaltsverzeichnis
ICS
29.045
DOI
https://dx.doi.org/10.31030/3369971
Ersatzvermerk

Dieses Dokument ersetzt DIN 50451-5:2010-03 .

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN 50451-5:2010-03 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Aufnahme von "modifiziertem PTFE (M-PTFE)" als geeigneter Werkstoff in Abschnitt 5; b) Fußnote "e - außer H3PO4" wurde aus Tabelle 1 entfernt; c) Vorgehensweise in 6.2 und 6.3 wurde präzisiert; d) redaktionelle Überarbeitung.

Normen mitgestalten

Lade Empfehlungen...
Lade Empfehlungen...