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Norm 2015-11-14

NF C96-050-17:2015-11-14;NF EN 62047-17:2015-11-14

NF EN 62047-17:2015-11-14

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten

Englischer Titel
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
Ausgabedatum
2015-11-14
Barrierefreiheit
Originalsprachen
Französisch

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