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Technische Regel Entwurf

VDI 2083 Blatt 3:2021-08 - Entwurf

Reinraumtechnik - Messtechnik

Englischer Titel
Cleanroom technology - Metrology
Ausgabedatum
2021-08
Originalsprachen
Deutsch
Seiten
36

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2021-08
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Deutsch
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36

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Kurzreferat
In dieser Richtlinie werden Messverfahren für Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche beschrieben, die bei der Übergabe, im Rahmen der Qualifizierung von Neuanlagen, der Routinekontrolle und der laufenden Überwachung eingesetzt werden. Die in der Richtlinie beschriebenen Methoden sind speziell auf die Erfordernisse von Reinräumen ausgerichtet. Die Richtlinie gilt für erstmalige und einmalige Messungen sowie die fortlaufende oder periodische Überwachung. (Kontinuierliche Messungen zum Zweck des Monitorings werden in VDI 2083 Blatt 3.1 beschrieben.) Die spezifizierten Methoden sind für die Übergabe von reinraumtechnischen Anlagen sowie für die Durchführung von Routine- und Überwachungsmessungen nach DIN EN 12599, VDI 2083 Blatt 2 und DIN EN ISO 14644-4 vorgesehen und sollen, soweit möglich, anwenderspezifische Verfahren ersetzen.
Über dieses Produkt

Durchführung von Messungen und Prüfungen in Reinräumen – Grundlagen, Verfahren, Dokumentation

Die Einsatzbereiche von Reinräumen sind vielfältig: Von der Halbleiterfertigung über Forschungslabore bis hin zu medizinischen Anwendungen besteht der Bedarf an möglichst partikelarmen Räumen. Die Partikelkonzentrationen in der Luft, am Arbeitsplatz und in den Prozessmedien müssen dabei immer wieder gemessen werden, um die Reinheit des Raums zu prüfen und zu gewährleisten. Die Richtlinienreihe VDI 2083 bietet die nötigen Informationen zu den Aufgaben und Maßnahmen der Reinraumtechnik. Die Anforderungen der Richtlinienreihe sind abgestimmt mit denen der Normenreihe DIN EN ISO 14644 und DIN EN 12599 und haben zum Ziel, angemessene Spezifikationen für die Messungen festzulegen und bei der Einhaltung dieser Anforderungen zu unterstützen. Die Richtlinien richten sich an Personen, die für die Messung und Qualitätswahrung in Reinräumen verantwortlich sind. Sie bieten die nötigen Daten für die Auswahl von Methoden und Parametern und geben auch Hinweise für etwaige Abweichungen, die zulässig oder notwendig sein können.

Anwendungsbereich

Anwendungsbereich der VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3 sind messtechnische Verfahren für Reinräume und angrenzende Bereiche. Die Richtlinie beschreibt Methoden, die für die Messung bei der ersten Inbetriebnahme von Reinräumen, sowie für Überwachung und Kontrolle geeignet sind. Sie beschreibt keine Messungen für die kontinuierliche Überwachung; diese sind Anwendungsbereich der VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3.1. Die Richtlinie gilt für Partikel mit einer Größe ab 100 nm.

VDI 2083 Blatt 3 beinhaltet konkrete Hinweise zum Ablauf der Messungen, begonnen bei der Sichtprüfung über Methoden wie die Filterleckprüfung, das Bestimmen der Druckdifferenz und den sich aus diesen und weiteren Verfahren ableitenden Klassifizierungen und Einordnungen.

Die VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3 informiert über Art und Umfang der Dokumentation und definiert Mindestanforderungen an das zu erstellende Messprotokoll.

Die Richtlinie ist anzuwenden gemeinsam mit und gemäß weiteren, gesetzlichen Bestimmungen. Die hier angegebenen Festlegungen ersetzen nicht die Anforderungen anderer Vorschriften und Gesetze.

Aus dem Inhalt

  • Anwendungsbereich
  • Normative Verweise
  • Begriffe
  • Abkürzungen
  • Mess- und Prüfverfahren – Übersicht
  • Durchführung der Messungen und Prüfungen
  • Dokumentation und Mindestanforderungen an das Messprotokoll
  • Anhang A: Messgeräte und Messunsicherheit
  • Anhang B: Referenzverfahren zur Bestimmung der Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration
  • Schrifttum
Inhaltsverzeichnis
ICS
13.040.35
Änderungsvermerk

Diese Norm ersetzt VDI 2083 Blatt 3:2020-02 .

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