VDI 2083 Blatt 5.1:2007-09

Reinraumtechnik - Betrieb von Reinräumen

Englischer Titel: Cleanroom technology - Cleanroom operation
Ausgabedatum: 2007-09
Originalsprachen: Deutsch, Englisch
Seiten: 95

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Kurzreferat

Die Richtlinie beschreibt Erfordernisse an den Betrieb reinraumtechnischer Systeme, die im Rahmen der Qualitätssicherung spezifiziert werden, um die jeweiligen Reinheitsanforderungen an die Prozessumgebung sicherzustellen. Der Anwendungsbereich umfasst alle planbaren und vorhersehbaren Betriebszustände. Er umfasst neben dem Reinraumprozess und dem Produktionsprozess den Normalbetrieb, den Ruhebetrieb, Störungen sowie die Störungsbeseitigung und die Maßnahmen der Wartung und Instandhaltung. Die Reinheitsanforderungen sollten alle für den jeweiligen Anwendungsfall wesentlichen Kontaminationskategorien erfassen: physikalische (Partikel), chemische (molekulare) und biologische. Ausnahmezustände, wie z. B. Katastrophen und Brände gehören nicht zum Anwendungsbereich.

Inhaltsverzeichnis

ICS

13.040.35

Ersatzvermerk

Dieses Dokument ersetzt VDI 2083 Blatt 2:1996-02 , VDI 2083 Blatt 4:1996-02 , VDI 2083 Blatt 5:1996-02 .

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