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Technische Regel [ZURÜCKGEZOGEN] 1996-02

VDI 2083 Blatt 4:1996-02

Reinraumtechnik - Oberflächenreinheit

Englischer Titel
Cleanroom technology - Surface cleanliness
Ausgabedatum
1996-02
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Deutsch, Englisch

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Kurzreferat
Das Dokument behandelt das Planen, Erzeugen, Erhalten, Wiederherstellen und Nachweisen der erforderlichen Reinheit auf Oberflächen in reinen Bereichen. Es umfaßt die Klassifizierung der Oberflächenreinheit, die Anforderungen an die Reinheit und die darauf bezogenene Gebrauchstüchtigkeit von Oberflächen; die Verfahren zur Reinigung und Dekontamination von Oberflächen; die Methoden zum Nachweis der Oberflächenreinheit.
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