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VDI 2083 Blatt 7:2006-11

Reinraumtechnik - Reinheit von Prozessmedien

Englischer Titel
Cleanroom technology - Cleanliness of process media
Ausgabedatum
2006-11
Originalsprachen
Deutsch, Englisch
Seiten
31

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Kurzreferat
Die Aufreinigung von Prozessmedien ist eine Komponente des reinen Arbeitens. Die Reinheit der Prozessmedien wird durch eine Vielzahl möglicher Kontaminationsquellen beeinflusst. In der vorliegenden Richtlinie wird vor allem der Einfluss partikulärer Kontaminationen bewertet. Die Partikelreinheit der in Reinräumen gefertigten Produkte ist nicht Gegenstand dieser Richtlinie.
Inhaltsverzeichnis
ICS
13.040.35
Ersatzvermerk

Dieses Dokument ersetzt VDI 2083 Blatt 7:2000-01 .

Dokument wurde ersetzt durch VDI 2083 Blatt 7:2015-10 .

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