VDI 2083 Blatt 4:1996-02

Reinraumtechnik - Oberflächenreinheit

Englischer Titel: Cleanroom technology - Surface cleanliness
Ausgabedatum: 1996-02
Originalsprachen: Deutsch, Englisch
Seiten: 51

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Kurzreferat

Das Dokument behandelt das Planen, Erzeugen, Erhalten, Wiederherstellen und Nachweisen der erforderlichen Reinheit auf Oberflächen in reinen Bereichen. Es umfaßt die Klassifizierung der Oberflächenreinheit, die Anforderungen an die Reinheit und die darauf bezogenene Gebrauchstüchtigkeit von Oberflächen; die Verfahren zur Reinigung und Dekontamination von Oberflächen; die Methoden zum Nachweis der Oberflächenreinheit.

Inhaltsverzeichnis

ICS

13.040.35

Ersatzvermerk

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